和控制电路、直至接口、通信和电源等集成于一块或多块芯片上的微型器件或系统。而MEMS传感器就是采用微电子和微机械加工技术制造出来的新型传感器。MEMS是用传统的半导体工艺和材料,以半导体制造技术为
2016-12-09 17:46
MEMS传感器,也就是我们常说的智能传感器,是应用最广泛的MEMS器件。它一般是把信号处理电路和敏感单元集成制作在一个芯片上,这样能够感知被测参数,并且还能对所得到的信号进行分析、处理和识别、判断
2013-10-11 16:21
加速度计的芯片结构。用于传感检测的MEMS芯片和用于控制的IC芯片通常混合集成在一个壳体里面。此外,MEMS技术在生活中的其他应用包括MEMS麦克风、
2020-05-12 17:27
MEMS技术
2012-08-14 23:03
MS-2163:利用集成式MEMS惯性传感器改 善工业控制
2019-09-03 14:31
MEMS: Mainstream Process Integration The picture below shows a prototype example
2009-12-22 16:34
FPGA设计之模块划分常用架构
2019-08-14 09:42
MEMS惯性传感器在当今的众多个人电子设备中发挥着重要作用。 小尺寸、低功耗、易集成、强大功能性和卓越性能,这些因素促使着智能手机、游戏控制器、活动跟踪器、数码相框等装置不断创新。 此外,MEMS
2014-11-17 16:43
还有丰富的功能,能够评测最新一代高分辨率工业级MEMS传感器,例如,意法半导体最近推出具16位加速度计输出和 12位温度输出的IIS3DHHC 三轴低噪加速度计。在开启项目前,用户先将目标传感器模块插入
2018-05-22 11:20
历经十多年前的发展,MEMS(微机电系统, Micro-Electro-Mechanical System)逐渐衍变成消费类市场的重要推手,可谓是在手持式产品里风生水起,尤其在手机应用上更是如鱼得水。
2019-08-02 06:53