简介：本节以truedyne sensor公司为例，介绍了他们的MEMS传感器技术的积累过程。MEMS传感器的技术核心，是硅谐振测量通道，与传统的谐振器
2020-12-28 15:42
MEMS器件目前主要应用于汽车和消费电子，未来在医疗、工业、航空航天市场也将逐渐普及。那么MEMS是什么？有什么特点？MEMS设计与制造面临哪些困难？本文将会一一解答。
2016-11-01 10:46
硅基MEMS加工技术主要包括体硅MEMS加工技术和表面MEMS加工技术。
2018-04-12 08:40
在微电子技术高速发展的浪潮中，MEMS传感器的应用也广泛起来。例如气体成分检测、3D定位技术、特殊环境的参数监测等应用。
2020-06-09 15:22
从驱动方式和机械结构的角度介绍了不同的RF MEMS开关类型，分析了各类MEMS开关的性能及优缺点，分析了MEMS开关在制作和发展中面临的牺牲层技术、封装
2023-05-23 14:29
MEMS制程各工艺相关设备的极限能力又是限定器件尺寸的关键要素，且其相互之间的配套方能实现设备成本的最低；下面先简要介绍一下前段制程的特点及涉及的设备。
2021-01-11 10:35
2020年是国家“十三五”规划的收官之年。“十三五”期间，作为传感器领域的重要增长点，MEMS产业发展成果尤为丰硕，中国已经成为全球MEMS市场发展最快的地区。
2020-09-04 16:15
MEMS及其应用 MEMS技术是采用微制造技术，在一个公共硅片基础上整合了传感器、机械元件、致动器（actua
2010-07-26 10:13
ADI公司MEMS技术和音频处理技术是业内领先的, 而MEMS麦克风是基于MEMS
2019-07-05 06:18
MEMS存储器是一种新型存储器件，本内容介绍了MEMS存储设备的管理技术，请求调度算法，数据布局策略等内容
2012-12-11 14:25
