简介:本节以truedyne sensor公司为例,介绍了他们的MEMS传感器技术的积累过程。MEMS传感器的技术核心,是硅谐振测量通道,与传统的谐振器
2020-12-28 15:42
MEMS及其应用 MEMS技术是采用微制造技术,在一个公共硅片基础上整合了传感器、机械元件、致动器(actua
2010-07-26 10:13
传感MEMS技术是指用微电子微机械加工出来的、用敏感元件如电容、压电、压阻、热电耦、谐振、隧道电流等来感受转换电信号的器件和系统。
2023-04-25 10:16
Microelectromechanical Systems, 这个让老美念起来都绕口的词,中文叫做“微机械机电系统”。MEMS的飞速发展,是因为传统机电工艺制成的驱动器和传感器,在体积、价格、产能
2018-04-17 11:29
ADI公司MEMS技术和音频处理技术是业内领先的, 而MEMS麦克风是基于MEMS
2019-07-05 06:18
MEMS(Micro Electromechanical System,即微电子机械系统)是指集微型传感器、执行器以及信号处理和控制电路、接口电路、通信和电源于一体的微型机电系统。概括起来,MEMS具有以下几个基本特
2011-06-20 16:30
在可穿戴设备中基础性的MEMS技术应用广泛,可穿戴医疗技术的发展更是得益于MEMS技术的逐步成熟,这不仅仅是体现在灵敏度
2014-09-09 15:24
元宇宙的实现需要哪些MEMS技术
2023-11-24 17:12
ADI正在展示其当前的MEMS技术,解决了许多新兴精密农业解决方案面临的关键问题:在恶劣环境下工作时,提供可靠、精确的方向跟踪。
2019-06-24 06:06