简介：本节以truedyne sensor公司为例，介绍了他们的MEMS传感器技术的积累过程。MEMS传感器的技术核心，是硅谐振测量通道，与传统的谐振器
2020-12-28 15:42
从驱动方式和机械结构的角度介绍了不同的RF MEMS开关类型，分析了各类MEMS开关的性能及优缺点，分析了MEMS开关在制作和发展中面临的牺牲层技术、封装
2023-05-23 14:29
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MEMS及其应用 MEMS技术是采用微制造技术，在一个公共硅片基础上整合了传感器、机械元件、致动器（actua
2010-07-26 10:13
ADI公司MEMS技术和音频处理技术是业内领先的, 而MEMS麦克风是基于MEMS
2019-07-05 06:18
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2010-03-29 10:10
投影技术大全 投影机可以分为CRT、LCD、DLP、DLV三大类，其中占绝对主流地位的是LCD投影机，
2010-02-05 10:37
MEMS存储器是一种新型存储器件，本内容介绍了MEMS存储设备的管理技术，请求调度算法，数据布局策略等内容
2012-12-11 14:25
MEMS全称Micro Electromechanical System（微机电系统），是一种通常在硅晶圆上以IC工艺制备的微机电系统，微机械结构的制备工艺包括光刻、离子束刻蚀、化学腐蚀、晶片键合等，同时在机械结构上制备了电极，以便通过电子技术进行控制。
2020-12-25 15:34
