往往会采用常见的机械零件和工具所对应微观模拟元件，例如它们可能包含通道、孔、悬臂、膜、腔以及其它结构。然而，MEMS器件加工技术并非机械式。相反，它们采用类似于集成电路批处理式的微制造
2018-11-07 11:00
MEMS传感器及其应用
2012-08-14 22:45
很小，能够以极小的损耗可靠地传送0 Hz/dc至数百GHz信号，有望彻底改变电子系统的实现方式。这种性能优势会对大量不同的设备和应用产生重要影响。在MEMS开关技术的帮助下，很多领域都将达到前所未有
2018-10-17 10:52
等，同时在机械结构上制备了电极，以便通过电子技术进行控制。生活中有哪些MEMS器件？第一个可转动的MEMS马达于1988年诞生于加州大学伯克利分校，如图1所示；之后于1989年，美国桑迪亚国家实验室
2020-05-12 17:27
MEMS技术
2012-08-14 23:03
通常在毫米或微米级，具有重量轻、功耗低、耐用性好、价格低廉等优点，是近年来发展最快的领域之一。下面让我们来领略一下应用MEMS技术的黑科技吧。1、胶囊胃镜重庆金山科技有限公司生产的胶囊胃镜，为消费者开创
2018-10-15 10:47
哪位大佬可以详细介绍下MEMS技术到底是什么
2020-11-25 07:23
、科罗拉多大学及其它一些研究机构都相继开发出颇有价值的MEMS器件，我们可从中看到一些未来MEMS技术的发展方向。其中有一些特别引人注目的器件，如芯片大小的分光光度计，
2014-08-19 15:50
尽管MEMS（微机电系统）技术在气囊和汽车压力传感器中的应用已有大约20年，但促使大众认识到惯性传感器作用的是任天堂的 Wii™和Apple® iPhone®手机。然而，在一定程度上，流行的看法
2019-07-16 06:49
从可穿戴设备到家庭助理，越来越多的设备利用麦克风准确捕捉几乎任何声音。麦克风构造中最常用的两种技术是微机电系统（MEMS）麦克风和驻极体电容式麦克风（ECM），其中任何一种都有许多用例。本文将回
2019-02-23 14:05
