结构材料，而不是使用基材本身。[23]表面微机械加工创建于1980年代后期，旨在使硅的微机械加工与平面集成电路技术更加兼容，其目标是在同一硅晶片上结合MEMS和集成电路。最初的表面微加工概念基于薄多晶硅
2021-01-05 10:33
哪位大佬可以详细介绍下MEMS技术到底是什么
2020-11-25 07:23
可以用在容不下传统传感器的应用中。 图1：TI的数字微镜像素，拆解视图。德州仪器版权所有。 易于集成是MEMS技术的另一个优点。因为它们采用与ASIC制造相似的制造
2018-11-07 11:00
制造设施的建设。现在，ADI公司已能够满足业界一直以来的需求：量产、可靠、高性能、小尺寸的MEMS开关取代衰老的继电器技术。ADI公司与MEMS
2018-10-17 10:52
等，同时在机械结构上制备了电极，以便通过电子技术进行控制。生活中有哪些MEMS器件？第一个可转动的MEMS马达于1988年诞生于加州大学伯克利分校，如图1所示；之后于1989年，美国桑迪亚国家实验室
2020-05-12 17:27
产生的不受欢迎的噪声水平。半导体构造技术与音频前置放大器的加入进一步使得制造具有紧密匹配，温度稳定性能特性的MEMS麦克风成为可能，使其非常适合于多麦克风阵列应用。在制造
2019-02-23 14:05
`作为一种新型封装器件，微机电系统(MEMS)将成为21世纪电子领域的重要技术之一，但是对于如何在PCB上装配MEMS，中国工程师仍知之甚少。要想在这一新兴技术领域占有
2014-08-19 15:50
什么是RF MEMS？有哪些关键技术与器件？微电子机械系统(MicroElectroMechanicalSystem)，简称MEMS，是以微电子技术为基础而兴起发展的，
2019-08-01 06:17
MEMS技术
2012-08-14 23:03
通常在毫米或微米级，具有重量轻、功耗低、耐用性好、价格低廉等优点，是近年来发展最快的领域之一。下面让我们来领略一下应用MEMS技术的黑科技吧。1、胶囊胃镜重庆金山科技有限公司生产的胶囊胃镜，为消费者开创
2018-10-15 10:47
