结构材料，而不是使用基材本身。[23]表面微机械加工创建于1980年代后期，旨在使硅的微机械加工与平面集成电路技术更加兼容，其目标是在同一硅晶片上结合MEMS和集成电路。最初的表面微加工概念基于薄多晶硅
2021-01-05 10:33
哪位大佬可以详细介绍下MEMS技术到底是什么
2020-11-25 07:23
赞助商广告展示 原文标题：MEMS芯片制造工艺流程详解 文章出处：【微信公众号：今日半导体】欢迎添加关注！文章转载请注明出处。 审核编辑：彭静
2022-07-11 16:20
可以用在容不下传统传感器的应用中。 图1：TI的数字微镜像素，拆解视图。德州仪器版权所有。 易于集成是MEMS技术的另一个优点。因为它们采用与ASIC制造相似的制造
2018-11-07 11:00
MEMS工艺——半导体制造技术说明。
2021-04-08 09:30
MEMS是一种制造技术，诸如杠杆、齿轮、活塞、发动机甚至蒸汽机都是由MEMS制造的。相比于芯片
2021-02-20 11:05
制造设施的建设。现在，ADI公司已能够满足业界一直以来的需求：量产、可靠、高性能、小尺寸的MEMS开关取代衰老的继电器技术。ADI公司与MEMS
2018-10-17 10:52
等，同时在机械结构上制备了电极，以便通过电子技术进行控制。生活中有哪些MEMS器件？第一个可转动的MEMS马达于1988年诞生于加州大学伯克利分校，如图1所示；之后于1989年，美国桑迪亚国家实验室
2020-05-12 17:27
MEMS传感器是当今最炙手可热的传感器制造技术，也是传感器小型化、智能化的重要推动了，MEMS技术促进了传感器的极大发展
2023-11-02 08:37
MEMS器件利用半导体加工技术来制造三维机械结构，三种最常用的MEMS制造技术
2020-07-29 17:42
