、方向定位、以及温度/压力/湿度传感器等广泛的应用；在汽车上，MEMS传感器借助气囊碰撞传感器、胎压监测系统（TPMS）
2016-12-07 15:42
MEMS传感器，也就是我们常说的智能传感器，是应用最广泛的MEMS器件。它一般是把信号处理电路和敏感单元集成制作在一个芯片上，这样能够感知被测参数，并且还能对所得到的
2013-10-11 16:21
`什么是MEMS传感器？MEMS的全称是微型电子机械系统（Micro-ElectroMechanical System），微机电系统是指可批量制作的，将微型机构、微型传感器
2016-12-09 17:46
导航系统和防盗系统等。其中，电容式MEMS加速度计具有灵敏度高、受温度影响极小等特点，是MEMS微加速度计 中的主流产品。微陀螺仪是一种角速率
2022-10-18 18:28
MEMS传感器及其应用
2012-08-14 22:45
、压力传感器、流量传感器以及微泵。测压传感器应用在医学中被称为医用测压
2016-12-07 15:46
单片集成电路可实现尺寸更小、成本更低、精度更高并控制传感器。集成CMOS电路，就可以监控低至微开尔文（micro-Kelvin）的温度差，以允许高分辨率和低流速感应。美新半导体推出的热式微压差流量
2018-08-29 10:50
MEMS传感器应用在航空航天领域，要求适应在不同的空间环境，包括：真空、电磁辐射、高能粒子辐射、等离子体、微流星体、行星大气、磁场和引力场等，以及航天器某些系统工作时或
2016-12-07 15:45
，方便测试及维护。总体封装后如图8所示。图8总体封装外观图该MEMS硅压阻汽车压力传感器在MEMS技术、封装技术与信息技术的结合下成为一个具备高性价比的实用化产品。是当
2011-09-20 15:53
MS-2163：利用集成式MEMS惯性传感器改 善工业控制
2019-09-03 14:31
