键合技术是 MEMS 工艺中常用的技术之一，是指将硅片与硅片、硅片与玻璃或硅片与金属等材料通过物理或化学反应机制紧密结合在一起的一种工艺技术。
2022-10-11 09:59
自20世纪中期以来，微电子技术及其加工工艺得到迅速的发展。在此基础上，微机械加工技术 (Micromachining Technology），特别是针对微型传感器与微型执行器的研究也取得显著的进步
2023-11-14 09:25
在MEMS工艺中，常用的退火方法，如高温炉管退火和快速热退火（RTP）。RTP (Rapid Thermal Processing)是一种在很短的时间内将整个硅片加热到400~1300°C范围的方法。
2024-03-19 15:21
SOI是Silicon On Insulator的缩写，是指在氧化膜上形成了单晶硅层的硅晶圆。已广泛应用于功率元件和MEMS等，在MEMS中可以使用氧化膜层作为硅蚀刻的阻挡层，因此能够形成复杂的三维立体结构。
2024-04-29 15:59
当前以MEMS为基础的细胞微阵列芯片受到科研人员广泛重视。通过微加工技术在基底上构建微尺度的图形结构，并通过物理化学修饰对表面进行改性，使得细胞在特定区域实现选择性黏附，从而形成有序的细胞微阵列。
2018-01-25 12:28
在亚毫米波频段，相比较于微波毫米波频段，由于频率更高、波长更短，因而相应的器件尺寸更小。而天线作为尺寸和波长大小密切相关的器件，在亚毫米波频段的设计具有很大挑战。
2018-02-11 11:52
根据免疫传感器检测的原理及特点，并针对提高微型免疫生物传感器稳定性和一致性的需要，进行微流体系统的设汁和研究。设计面向应用化和稳定的免疫检测系统，考虑到低成本和易操作等因素，采用将微反应室和反应电极分别制作的方法。实验时在电极片表面粘附微结构形成微反应系统进行免疫检测，反应结束后可以将反应室与电极分开，相对于一次性的反应电极，微反应窒可以经处理后实现重复使用。
2019-07-26 14:54
鉴于MEMS工艺源自光刻微电子工艺，所以人们很自然会考虑用IC设计工具来创建MEMS器件的掩膜。
2011-12-09 11:44
本文提出了一种基于MEMS工艺的LED芯片封装技术，利用Tracepro软件仿真分析了反射腔的结构参数对LED光强的影响，通过分析指出。利用各向异性腐蚀硅形成的角度作为反射腔的反射角，可以改善LED
2018-06-15 14:28
用MEMS工艺制造的传感器具有微型化、集成化、成本低、效能高、可大批量生产等特点。同时，MEMS传感器不仅能够感知被测参数，将其转换成方便度量的信号;而且能对所得到的信号进行分析、处理和识别、判断，因此形象地被称为智
2019-12-25 10:21
