级设计、器件级仿真、工艺模拟和版图设计。在工艺模拟功能方面,目前的商业软件,虽然都支持三维工艺模拟,但是工艺的模拟和实现都是比较简单和理想化的,并且缺乏
2019-06-25 06:41
MEMS全称微型电子机械系统,相比于传统的机械,MEMS的尺寸更小,其大小在几微米及一个厘米之间,而厚度则更加微小。MEMS的生产技术与集成电路类似,可以大量套用集成电路生产中的技术、
2020-08-18 07:19
吴军民a, 汤学华b (上海电机学院a.汽车学院; b.机械学院,上海200245) 摘 要:研究了一种电磁型射频(RF)微机电系统(MEMS)开关的软磁悬臂梁的制备工艺。为了得到适合MEMS器件
2019-07-04 08:14
的设计、制造和封装已经是目前研究的热点。采用微细加工工艺将微米尺度下的微机械部件和IC电路制作在同一个芯片上形成高度集成的功能单元。由于MEMS单元具有体积小、响应快、功耗低、成本低的优点,具有极为广阔
2019-06-24 06:11
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2013-04-19 22:56
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2016-01-08 19:47
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2012-05-27 11:05
哪位大佬可以详细介绍下MEMS技术到底是什么
2020-11-25 07:23
什么是RF MEMS?有哪些关键技术与器件?微电子机械系统(MicroElectroMechanicalSystem),简称MEMS,是以微电子技术为基础而兴起发展的,以硅、砷化镓、蓝宝石等为衬底
2019-08-01 06:17
什么是压电MEMS扬声器?压电MEMS扬声器UT-P 2016的指标规格有哪些?压电MEMS扬声器UT-P 2016的应用有哪些?
2021-06-16 08:50