级设计、器件级仿真、工艺模拟和版图设计。在工艺模拟功能方面，目前的商业软件，虽然都支持三维工艺模拟，但是工艺的模拟和实现都是比较简单和理想化的，并且缺乏
2019-06-25 06:41
MEMS即微机电系统(Microelectro Mechanical Systems)，是在微电子技术基础上发展起来的多学科交叉的前沿研究领域。经过四十多年的发展，已成为世界瞩目的重大科技领域之一。它涉及电子、机械、材料、物理学、化学、生物学、医学等多种学科与技术，具有广阔的应用前景。
2020-05-14 08:03
MEMS全称微型电子机械系统，相比于传统的机械，MEMS的尺寸更小，其大小在几微米及一个厘米之间，而厚度则更加微小。MEMS的生产技术与集成电路类似，可以大量套用集成电路生产中的技术、
2020-08-18 07:19
吴军民a, 汤学华b （上海电机学院a.汽车学院； b.机械学院，上海200245） 摘 要：研究了一种电磁型射频（RF）微机电系统（MEMS）开关的软磁悬臂梁的制备工艺。为了得到适合MEMS器件
2019-07-04 08:14
什么是压电MEMS扬声器？压电MEMS扬声器UT-P 2016的指标规格有哪些？压电MEMS扬声器UT-P 2016的应用有哪些？
2021-06-16 08:50
MEMS传感器面临哪些挑战呢？MEMS传感器面对这些挑战该如何去解决呢？
2021-07-19 06:39
的设计、制造和封装已经是目前研究的热点。采用微细加工工艺将微米尺度下的微机械部件和IC电路制作在同一个芯片上形成高度集成的功能单元。由于MEMS单元具有体积小、响应快、功耗低、成本低的优点，具有极为广阔
2019-06-24 06:11
MEMS(Micro-Electro-MechanicalSystems)是微机电系统的缩写，MEMS技术建立在微米/纳米基础上，是对微米/纳米材料进行设计、加工、制造、测量和控制的技术，完整的MEMS是由微传感器、
2019-09-29 09:34
什么是RF MEMS？有哪些关键技术与器件？微电子机械系统(MicroElectroMechanicalSystem)，简称MEMS，是以微电子技术为基础而兴起发展的，以硅、砷化镓、蓝宝石等为衬底
2019-08-01 06:17
近来全球各大半导体厂似乎掀起一股MEMS热，无论是最上游的IC设计公司、晶圆代工厂、一直到最终端的封装测试厂，就连半导体机器设备商，也一头栽进MEMS世界，甚至近来半导体公司工程人员见面不乏问一句，你们家MEMS了吗
2019-10-12 09:52
