。加工工艺:MEMS技术基于已经相当成熟的微电子技术、集成电路技术及其加工工艺。它与传统的IC工艺有许多相似之处,如光刻
2016-12-09 17:46
铂金丝有一定的难度,需要找到合适的芯片焊接方法。针对MEMS传感器芯片焊接工艺,需要高精密设备来实现。之前遇到朋友来找我说为什么他买的设备据卖家说是高精密但是焊出来的达不到要求,基本上都芯片引线焊不上
2022-10-18 18:28
分为两大类:一类称为无 源MEMS,其结构无可动零 件;另一类称为有源MEMS,有可动结构,在电 应力作用下,可动零件会 发生形变或移动。其关键 加工技术分为四大类:平 面加工技术、体硅腐蚀技 术、固相
2017-07-13 09:14
技术的特有工艺MEMS器件与IC芯片的制备工艺非常相似,但MEMS器件有两个重要特征:高深宽比的微结构和悬臂结构,因此需
2020-05-12 17:27
本技术笔记为采用 HLGA 表面贴装封装的 MEMS 传感器产品提供 PCB设计和焊接工艺的通用指南。
2023-09-13 08:03
工业应用环境的恶劣性对MEMS传感器的要求极其苛刻,如何选择耐高温、高稳定性的产品也是众多工业生产不可或缺的一步。ADI是MEMS创新产品的领导者,在工业应用领域有丰富的经验,现在我们可以与ADI
2014-10-15 14:15
MEMS技术
2012-08-14 23:03
MEMS: Mainstream Process Integration The picture below shows a prototype example
2009-12-22 16:34
电子设备和通信系统设备的振荡器选择是影响系统性能的主要因素。目前振荡器有两种:石英晶体振荡器是由石英晶体的基本结构构成,和一个简单的振荡器电路。全硅MEMS谐振器,锁向电路,温度补偿,以及制造校准
2020-05-30 13:25
MEMS传感器,也就是我们常说的智能传感器,是应用最广泛的MEMS器件。它一般是把信号处理电路和敏感单元集成制作在一个芯片上,这样能够感知被测参数,并且还能对所得到的信号进行分析、处理和识别、判断
2013-10-11 16:21