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    。加工工艺MEMS技术基于已经相当成熟的微电子技术、集成电路技术及其加工工艺。它与传统的IC工艺许多相似之处,如光刻

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    2017-07-13 09:14

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  • MEMS传感器的分类

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    2013-10-11 16:21