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MEMS工艺——半导体制造技术说明。
2021-04-08 09:30
和控制电路、直至接口、通信和电源等集成于一块或多块芯片上的微型器件或系统。而MEMS传感器就是采用微电子和微机械加工技术制造出来的新型传感器。MEMS是用传统的半导体工艺和材料，以半导体制造技术为
2016-12-09 17:46
件、电子电路、传感器、执行机构集成在一块电路板上的高附加值元件。 MEMS工艺 MEMS工艺以成膜工序、光刻工序、蚀刻工序等常规半导体
2021-08-27 14:55
键合技术是 MEMS 工艺中常用的技术之一，是指将硅片与硅片、硅片与玻璃或硅片与金属等材料通过物理或化学反应机制紧密结合在一起的一种工艺技术。
2022-10-11 09:59
“上海先进”（ASMC/上海先进半导体制造股份有限公司）在MEMS（微机电系统）代工领域取得重大进展，在打造国内MEMS工艺生产平台的同时首条MEMS
2011-09-27 18:16
而mems即微机电系统,是一门新兴学科和领域,跟ic有很大的关联,当然mems工艺也和cmos工艺会有很大的相似之处,现在的发展方向应该是把二者集成到一套的
2018-07-13 14:40
本文提到MEMS技术中所应有的光刻技术，帮助读者了解光刻技术的原理，应用。
2016-04-28 11:35
2014-11-03 15:40
自20世纪中期以来，微电子技术及其加工工艺得到迅速的发展。在此基础上，微机械加工技术 (Micromachining Technology），特别是针对微型传感器与微型执行器的研究也取得显著的进步
2023-11-14 09:25
此处说的MEMS可以理解为：将传统传感器的机械部件微型化后，通过三维堆叠技术，如三维硅穿孔TSV 等技术，把器件固定在硅晶元上，再根据不同的应用场合，采用特殊定制的封装形式
2020-11-12 15:13
