在整个MEMS生态系统中，MEMS封装发展迅速，晶圆级和3D集成越来越重要。
2020-07-21 11:09
MEMS封装技术主要源于IC封装技术。IC封装技术的发展历程和水平代表了整个封装技术（包括
2020-09-28 16:41
封装的根本目的在于以最小的尺寸和重量、最低的价格和尽可能简单的结构服务于具有特定功能的一组元器件。封装必须提供元器件与外部系统的接口。归纳起来，MEMS封装的功能包括了
2020-09-28 16:39
一种测量RF、 MEMS封装中漏气情况的方法是Q因子提取。使用这种方法首先根据器件的电学性能计算出共振结构的性能。当使用这种方法进行检漏测试发现漏气时，被测器件可能已经完全损坏了。
2018-04-13 11:33
为了适应MEMS技术的发展，人们开发了许多新的MEMS封装技术和工艺，如阳极键合，硅熔融键合、共晶键合等，已基本建立起自己的封装体系。现在人们通常将
2020-09-28 16:34
微机电系统是按照功能在芯片上的集成，尺寸一般是在毫米以下，制作工艺更加精密，需要更高的技术，微机电系统早在国外就有应用，我国起步晚，在MEMS方面的投入逐渐增大，所占市场股份越来越大。微机电系统的出现和发展是现代科学创新思维的结果，也是微观尺度制造技术方面的进化和革命。
2018-04-26 15:58
随着微型机电系统（MEMS）技术的快速发展，其在汽车、医疗、通信、消费电子等领域的应用日益广泛。MEMS器件由于其独特的结构和功能特性，对封装技术提出了极高的要求。其中，气密性
2025-01-23 10:30 北京中科同志科技股份有限公司 企业号
MEMS也即微机电系统，电子专业的朋友对MEMS都具备一定认识。在往期文章中，小编对MEMS交换、MEMS封装等有所介绍
2021-02-11 17:38
MEMS也即微机电系统，电子专业的朋友对MEMS都具备一定认识。在往期文章中，小编对MEMS交换、MEMS封装等有所介绍
2021-02-13 17:27
MEMS是随着半导体集成电路微细加工技术和超精密机械加工技术的发展而发展起来的，目前MEMS加工技术还被广泛应用于微流控芯片与合成生物学等领域，从而进行生物化学等实验室技术流程的芯片集成化。
2018-08-08 10:57
