微机电系统是按照功能在芯片上的集成，尺寸一般是在毫米以下，制作工艺更加精密，需要更高的技术，微机电系统早在国外就有应用，我国起步晚，在MEMS方面的投入逐渐增大，所占市场股份越来越大。微机电系统的出现和发展是现代科学创新思维的结果，也是微观尺度制造技术方面的进化和革命。
2018-04-26 15:58
MEMS器件，尤其是MEMS传感器已成为智能手机中的标准配置。同时，智能手机应用软件日益庞大的生态系统很大程度上要归功于MEMS传感器。苹果iPhone和Resear
2018-04-28 15:24
据麦姆斯咨询报道，NanoGraM项目重点研究三类器件：石墨烯麦克风、石墨烯膜压力传感器和石墨烯膜霍尔传感器。
2018-09-23 11:08
即便您要重新设计传动电机的MEMS传感器，目标也是让工作尽可能轻松快捷地完成。利用Tanner L-Edit中的MEMS库，您可以从大量MEMS器件不同的基本单元中进行
2018-05-09 14:48
不同，它在较低的温度下以孪晶马氏体的结构存在，较高温度下以位错马氏体的结构存在。由于普通的MEMS器件由于材料在力学方面的性能，受到较大的限制，而形状记忆合金的出现，很大程度上弥补了这一缺陷。如今，基于NiTi合金的薄膜，目前已应用于包括加速度传感器、微型压力传感
2018-05-04 07:30
微机电系统（MEMS）器件，例如MEMS加速度计，广泛应用于汽车电子、消费电子和生物医疗等行业。利用半导体制造技术可有效地大批量生产MEMS
2022-10-19 17:30
鉴于MEMS工艺源自光刻微电子工艺，所以人们很自然会考虑用IC设计工具来创建MEMS器件的掩膜。
2011-12-09 11:44
MEMS器件目前主要应用于汽车和消费电子，未来在医疗、工业、航空航天市场也将逐渐普及。那么MEMS是什么？有什么特点？MEMS设计与制造面临哪些困难？本文将会一一解答。
2016-11-01 10:46
对于释放应力杯并完成封装的MEMS器件来说，高温或高湿老化可能会影响硅膜的弹性形变，而长时间的压力负载也可能导致硅膜疲劳。这些损害会造成MEMS特性参数的漂移，严重的话会引发器
2018-04-29 16:48
可能大部分对MEMS还是比较陌生，但其实MEMS在生活中早已无处不在了，智能手机、手环、汽车、无人机、VR/AR头戴式设备等，都应用了MEMS器件。
2018-07-15 08:40
