论述了微机电系统(MEMS)器件缩减模型的建立是进行MEMS系统级模拟的关键。论证了基于线性正交振型建立MEMS器件缩减
2009-05-28 11:19
微电子机械系统（MEMS）技术在通信领域中有着广泛的应用前景，本文介绍了在无线通信和光通信中的MEMS 器件如MEMS 电感、电容、开关、滤波器、光检测器等
2009-11-16 16:41
针对微电子机械系统中平行板间的气膜阻尼问题，通过将平板沿垂直方向的位移运动方程展开为傅里叶级数，得到了微平面机构所受的空气阻尼力和阻尼系数的解析公式。结果表
2008-12-16 23:59
开发一种生物运动微惯性测量装置，以基于 ARM7 的LPC2129 为核心处理单元，采用MEMS 陀螺和MEMS 加速度计为测量传感器。该装置实现了对SPC-III 机器鱼尾鳍拍动参数的精确测量，为
2009-11-26 11:49
MEMS是融合了硅微加工,LIGA和精密机械加工等多种加工技术,并应用现代信息技术构成的微型系统.
2010-11-15 20:23
RF-MEMS 不仅在体积上小于传统射频器件，易于单片集成，且其性能也优于传统射频器件，此外，RF-MEMS 还可以实现器件
2009-11-26 15:59
微机电系统（ micro-electro-mechanical svstem，MEMS）是指可以批量制造的集微结构、微传感器、微执行器以及信号处理和控制电路等于一体的器件或系统。薄膜是MEMS技术巾
2018-02-04 10:59
等，同时在机械结构上制备了电极，以便通过电子技术进行控制。生活中有哪些MEMS器件？第一个可转动的MEMS马达于1988年诞生于加州大学伯克利分校，如图1所示；之后于1989年，美国桑迪亚国家实验室
2020-05-12 17:27
和控制电路、直至接口、通信和电源等集成于一块或多块芯片上的微型器件或系统。而MEMS传感器就是采用微电子和微机械加工技术制造出来的新型传感器。MEMS是用传统的半导体工艺和材料，以半导体制造技术为
2016-12-09 17:46
MEMS传感器，也就是我们常说的智能传感器，是应用最广泛的MEMS器件。它一般是把信号处理电路和敏感单元集成制作在一个芯片上，这样能够感知被测参数，并且还能对所得到的信号进行分析、处理和识别、判断
2013-10-11 16:21
