MEMS器件的封装形式是把基于MEMS的系统方案推向市场的关键因素。研究发现，当今基于MEMS的典型产品中，封装成本几
2010-11-29 09:23
微机电系统（MEMS）技术使用半导体制造工艺来生产尺寸范围从小于一微米到几毫米的小型化机械和机电元件。MEMS设备可以从没有运动元件的相对简单的结构到具有多个运动元件的复杂的机电系统。
2020-07-22 18:06
MEMS技术可以被结合到各种各样的电子部件中。生产这些组件的公司大概会认为MEMS实施优于MEMS版本问世之前所使用的实施方式。
2020-08-31 15:59
随着便携消费电子的走热，MEMS器件得到了爆发式的增长。短短两年时间MEMS器件成为消费电子领域炙手可热的器件，近几年都
2013-01-23 14:43
MEMS产业发展十分迅速，但是人们常常忽视对其的早期测试。乍一看来，MEMS器件和传统IC器件的制造十分相似，但是，由于MEMS
2016-11-05 07:25
近年来，随着消费电子领域的快速发展，MEMS器件正式进入了人们的视线。面对当前的MEMS器件热，电子发烧友网在这里先为大家整理了ADI近年来发布的
2012-12-12 14:25
许多MEMS器件需要保护，以免受到外部环境的影响，或者只能在受控气氛或真空下运行。当今MEMS器件与CMOS芯片的高度集成，还需要专门用于
2022-07-15 12:36
MEMS器件以硅为主要材料。硅的强度、硬度和杨氏模量与铁相当。密度类似于铝，热传导率接近铜和钨，因此MEMS器件机械电气性能优良。它集中了当今科学技术发展的许多尖端成果
2019-02-12 15:12
石英振荡器与硅基MEMS技术（硅晶圆级封装技术）结合的时钟器件，该方案利用硅基MEMS技术真空封装石英振荡器。
2013-02-25 14:52
MEMS是一种结合微电子和微机械的半导体技术，在计算机和智能手机中可以找到，包括传感器、执行器和微齿轮等机械微结构。MEMS现在几乎无处不在，从智能手机到汽车安全气囊、生物传感器件以及光学
2018-03-12 15:29
