微机电系统（MEMS）技术使用半导体制造工艺来生产尺寸范围从小于一微米到几毫米的小型化机械和机电元件。MEMS设备可以从没有运动元件的相对简单的结构到具有多个运动元件的
2020-07-22 18:06
本帖最后由 eehome 于 2013-1-5 09:51 编辑 MEMS器件的封装形式是把基于MEMS的系统方案推向市场的关键因素。研究发现，当今基于MEMS的
2010-12-29 15:44
器件或系统。MEMS是随着半导体集成电路微细加工技术和超精密机械加工技术的发展而发展起来的，目前MEMS加工技术还被广泛应用于微流控芯片与合成生物学等领域，从而进行生物化学等实验室技术流程的芯片集成化
2018-09-07 15:24
光器件采用TO封装的一般称之为同轴器件，而目前来说同轴器件因为易于制造和成本优势，基本霸占了主流的光器件市场应用。TO封装从尺寸
2021-03-14 16:13
MEMS器件的封装形式是把基于MEMS的系统方案推向市场的关键因素。研究发现，当今基于MEMS的典型产品中，封装成本几
2010-11-29 09:23
据麦姆斯咨询介绍，物联网（IoT）可以利用MEMS的几个核心功能和优势，MEMS器件可以有效地满足许多物联网应用的要求：
2020-12-23 07:09
两个横隔（传感器横隔上部、传感器下部）之间的间距变化，导致隔板之间的电容变化，据此可以测算出压力大小。（2）MEMS加速度传感器MEMS加速度传感器，顾名思义，是一种能够测量加速度的MEMS
2021-05-25 07:00
两个横隔（传感器横隔上部、传感器下部）之间的间距变化，导致隔板之间的电容变化，据此可以测算出压力大小。（2）MEMS加速度传感器MEMS加速度传感器，顾名思义，是一种能够测量加速度的MEMS
2021-04-09 07:00
。图1. 惯性MEMS加速度计的扫描电子显微镜(SEM)图像。多晶硅指悬浮在减压腔，从而可通过相邻信号调理电子器件测量与加速度成正比的运动和电容。尺寸和重量对于机载应用，例如健康和使用监控系统
2018-10-12 11:01
MEMS器件的行为模式通常与尺寸较大的器件类似，但有一些明显的差异。能够将大量MEMS
2019-05-17 09:35
