等，同时在机械结构上制备了电极，以便通过电子技术进行控制。生活中有哪些MEMS器件？第一个可转动的MEMS马达于1988年诞生于加州大学伯克利分校，如图1所示；之后于1989年，美国桑迪亚国家实验室
2020-05-12 17:27
和控制电路、直至接口、通信和电源等集成于一块或多块芯片上的微型器件或系统。而MEMS传感器就是采用微电子和微机械加工技术制造出来的新型传感器。MEMS是用传统的半导体工艺和材料，以半导体制造技术为
2016-12-09 17:46
MEMS传感器，也就是我们常说的智能传感器，是应用最广泛的MEMS器件。它一般是把信号处理电路和敏感单元集成制作在一个芯片上，这样能够感知被测参数，并且还能对所得到的信号进行分析、处理和识别、判断
2013-10-11 16:21
TDK IAM-20680 6轴MotionTracking器件在3mm x 3mm x 0.75mm的小尺寸封装中集成了3轴陀螺仪和3轴加速度计。IAM-20680器件具有片上16位ADC、可编程
2020-05-23 00:43
`TDK IAM-20680 6轴MotionTracking器件在3mm x 3mm x 0.75mm的小尺寸封装中集成了3轴陀螺仪和3轴加速度计。IAM-50680器件具有片上16位ADC
2020-03-07 09:23
射频和微波元器件的测试摘要：介绍了使用矢量网络分析仪测试射频和微波元器件的方法，包括滤波器、定向耦合器、放大器、混频器、开关、电缆等
2009-11-04 15:55
MEMS技术
2012-08-14 23:03
MEMS: Mainstream Process Integration The picture below shows a prototype example
2009-12-22 16:34
在元器件测试中视频泄漏对器件的影响
2019-10-18 12:27
历经十多年前的发展，MEMS（微机电系统, Micro-Electro-Mechanical System）逐渐衍变成消费类市场的重要推手，可谓是在手持式产品里风生水起，尤其在手机应用上更是如鱼得水。
2019-08-02 06:53
