和控制电路、直至接口、通信和电源等集成于一块或多块芯片上的微型器件或系统。而MEMS传感器就是采用微电子和微机械加工技术制造出来的新型传感器。MEMS是用传统的半导体工
2016-12-09 17:46
将微结构的图形投影于结构层之上的光刻胶。第五步通过刻蚀工艺制备出结构层，然后通过化学腐蚀工艺释放结构层之下的牺牲层，得到最终的悬臂式微结构。图.8 表面微加工技术的工艺步骤MEMS器件的驱动
2020-05-12 17:27
，压力传感器、加速度计、陀螺仪与流量传感器四类器件合计占汽车MEMS系统的99%。MEMS压力传感器MEMS压力传感器是汽车中应用最多的传感器， 至少18个汽车应用领域
2016-12-07 15:42
MEMS传感器，也就是我们常说的智能传感器，是应用最广泛的MEMS器件。它一般是把信号处理电路和敏感单元集成制作在一个芯片上，这样能够感知被测参数，并且还能对所得到的信号进行分析、处理和识别、判断
2013-10-11 16:21
TDK IAM-20680 6轴MotionTracking器件在3mm x 3mm x 0.75mm的小尺寸封装中集成了3轴陀螺仪和3轴加速度计。IAM-20680器件具有片上16位ADC、可编程
2020-05-23 00:43
`TDK IAM-20680 6轴MotionTracking器件在3mm x 3mm x 0.75mm的小尺寸封装中集成了3轴陀螺仪和3轴加速度计。IAM-50680器件具有片上16位ADC
2020-03-07 09:23
加工等技术制作的高科技电子机械器件。微机电系统是集微传感器、微执行器、微机械结构、微电源微能源、信号处理和控制电路、高性能电子集成器件、接口、通信等于一体的微型器件或系
2016-07-27 11:46
电子机械器件。微机电系统是集微传感器、微执行器、微机械结构、微电源微能源、信号处理和控制电路、高性能电子集成器件、接口、通信等于一体的微型器件或系统。MEMS是一项革命
2017-10-09 14:07
MEMS技术
2012-08-14 23:03
STEVAL-MKI169V1，适配器板，旨在便于评估I3G4250D产品系列中的MEMS器件。该板为用户自己的应用程序中的快速系统原型设计和设备评估提供了有效的解决方案
2020-04-24 09:22
