硅基MEMS加工技术主要包括体硅MEMS加工技术和表面MEMS加工技术。
2018-04-12 08:40
器件或系统。MEMS是随着半导体集成电路微细加工技术和超精密机械加工技术的发展而发展起来的，目前MEMS
2018-09-07 15:24
，制造出复杂的MEMS器件，并定期发布更新的标准工艺文件，接受来自世界各地的按照标准工艺文件形成的MEMS设计。在一批工艺流水中包含数十种设计，通过这种方式提供廉价、迅速的ME
2018-11-05 15:42
本帖最后由 eehome 于 2013-1-5 09:51 编辑 MEMS器件的封装形式是把基于MEMS的系统方案推向市场的关键因素。研究发现，当今基于MEMS的
2010-12-29 15:44
本文重点描述运用MEMS微机械加工工艺技术设计、加工、生产胎压传感器IC芯片，希望对大家学习MEMS有所帮助
2012-12-11 14:17
和控制电路、直至接口、通信和电源等集成于一块或多块芯片上的微型器件或系统。而MEMS传感器就是采用微电子和微机械加工技术制造出来的新型传感器。MEMS是用传统的半导体工
2016-12-09 17:46
即便您要重新设计传动电机的MEMS传感器，目标也是让工作尽可能轻松快捷地完成。利用Tanner L-Edit中的MEMS库，您可以从大量MEMS器件不同的基本单元中进行
2018-05-09 14:48
什么是RF MEMS？有哪些关键技术与器件？微电子机械系统(MicroElectroMechanicalSystem)，简称MEMS，是以微电子技术为基础而兴起发展的，以硅、砷化镓、蓝宝石等为衬底
2019-08-01 06:17
两个横隔（传感器横隔上部、传感器下部）之间的间距变化，导致隔板之间的电容变化，据此可以测算出压力大小。（2）MEMS加速度传感器MEMS加速度传感器，顾名思义，是一种能够测量加速度的MEMS
2021-05-25 07:00
MEMS器件的封装形式是把基于MEMS的系统方案推向市场的关键因素。研究发现，当今基于MEMS的典型产品中，封装成本几
2010-11-29 09:23
