设计工具匮乏，当应力或其他影响因素没有被合理评估时，就使得设计失败。新型开发工具当前，用于封装设计的新技术已经接近了MEMS器件制造的水平。硅通孔（TSV）蚀刻技术可以实现高达100多μm的晶圆蚀刻深度
2010-12-29 15:44
层，该多晶硅层被图案化为可移动的机械结构，并通过牺牲性蚀刻下面的氧化物层来释放。叉指式梳状电极用于产生平面内力并以电容方式检测平面内运动。这种MEMS范例使制造低成本的加速度计成为可能适用于例如汽车
2021-01-05 10:33
器件或系统。MEMS是随着半导体集成电路微细加工技术和超精密机械加工技术的发展而发展起来的，目前MEMS加工技术还被广泛应用于微流控芯片与合成生物学等领域，从而进行生物化学等实验室技术流程的芯片集成化
2018-09-07 15:24
什么是RF MEMS？有哪些关键技术与器件？微电子机械系统(MicroElectroMechanicalSystem)，简称MEMS，是以微电子技术为基础而兴起发展的，以硅、砷化镓、蓝宝石等为衬底
2019-08-01 06:17
据麦姆斯咨询介绍，物联网（IoT）可以利用MEMS的几个核心功能和优势，MEMS器件可以有效地满足许多物联网应用的要求：
2020-12-23 07:09
哪位大佬可以详细介绍下MEMS技术到底是什么
2020-11-25 07:23
MEMS器件目前主要应用于汽车和消费电子，未来在医疗、工业、航空航天市场也将逐渐普及。那么MEMS是什么？有什么特点？MEMS设计与
2018-11-07 11:00
两个横隔（传感器横隔上部、传感器下部）之间的间距变化，导致隔板之间的电容变化，据此可以测算出压力大小。（2）MEMS加速度传感器MEMS加速度传感器，顾名思义，是一种能够测量加速度的MEMS
2021-05-25 07:00
两个横隔（传感器横隔上部、传感器下部）之间的间距变化，导致隔板之间的电容变化，据此可以测算出压力大小。（2）MEMS加速度传感器MEMS加速度传感器，顾名思义，是一种能够测量加速度的MEMS
2021-04-09 07:00
ST是否为其MEMS器件提供特性数据？ #mems #characterization以上来自于谷歌翻译以下为原文 Does ST provide characterization data for its
2018-11-09 09:46
