设计工具匮乏，当应力或其他影响因素没有被合理评估时，就使得设计失败。新型开发工具当前，用于封装设计的新技术已经接近了MEMS器件制造的水平。硅通孔（TSV）蚀刻技术可以实现高达100多μm的晶圆蚀刻深度
2010-12-29 15:44
IMT日前正式宣布：公司现已可提供8英寸（200mm）晶圆微电子机械系统（MEMS）工艺加工服务，同时公司还可以为MEMS行业发展提供空前丰富的其他资源组合。8英寸晶圆改变了MEMS
2019-06-13 14:32
层，该多晶硅层被图案化为可移动的机械结构，并通过牺牲性蚀刻下面的氧化物层来释放。叉指式梳状电极用于产生平面内力并以电容方式检测平面内运动。这种MEMS范例使制造低成本的加速度计成为可能适用于例如汽车
2021-01-05 10:33
在技术开发和MEMS器件制造等领域内构建合作框架，并以此促进北京大学微电子学研究院的在校本科生和研究生潜心于研究MEMS技术。
2015-10-28 14:38
电系统（ MEMS）技术的快速发展，MEMS器件的制造工艺不断成熟，使MEMS传感器的
2018-04-17 10:16
哪位大佬可以详细介绍下MEMS技术到底是什么
2020-11-25 07:23
器件或系统。MEMS是随着半导体集成电路微细加工技术和超精密机械加工技术的发展而发展起来的，目前MEMS加工技术还被广泛应用于微流控芯片与合成生物学等领域，从而进行生物化学等实验室技术流程的芯片集成化
2018-09-07 15:24
随着微电子技术的飞速发展，微电子机械系统（MEMS）逐渐成为众多领域的研究热点。MEMS器件在诸如传感器、执行器等方面表现出卓越的性能，但要实现这些优越特性，对其封装结构和制造
2023-04-21 14:18 北京中科同志科技股份有限公司 企业号
来源：半导体行业观察，谢谢 编辑：感知芯视界 Link 半导体与微机电系统（MEMS）集成是指将MEMS器件与集成电路（IC）集成在单个芯片上，从而缩小封装/减少重量和尺寸，提高性能，并降低仪器
2023-11-24 09:19
微机电系统（MEMS）技术使用半导体制造工艺来生产尺寸范围从小于一微米到几毫米的小型化机械和机电元件。MEMS设备可以从没有运动元件的相对简单的结构到具有多个运动元件的复杂的机电系统。
2020-07-22 18:06
