MEMS器件以硅为主要材料。硅的强度、硬度和杨氏模量与铁相当。密度类似于铝，热传导率接近铜和钨，因此MEMS
2019-02-12 15:12
【研究背景】 在微电子机械系统（MEMS）领域，随着科技进步和应用需求的增加，对于传统MEMS材料（如硅或氮化硅）的力敏感性（FS）和信噪比的限制引起了研究人员的关注。这些材料
2024-07-26 17:52
MEMS器件的封装形式是把基于MEMS的系统方案推向市场的关键因素。研究发现，当今基于MEMS的典型产品中，封装成本几
2010-11-29 09:23
据市场数据统计未来五年OSAT市场将持续保持增长，这主要是受益于MEMS巨大的出货量，MEMS器件有望成为OSAT厂商的下一个增长点，同时传感器产业都将面临着其原始功能
2018-01-29 11:17
在过去的几十年里，几种MEMS开关技术不断发展，了解其工作原理对开发新型器件至关重要。虽然没有既定的MEMS开关分类，但可以根据不同特征（如对外部电源的要求）进行分类。当前的M
2021-04-12 10:56
经过四十多年的发展，已成为世界瞩目的重大科技领域之一。它涉及电子、机械、材料、物理学、化学、生物学、医学等多种学科与技术，具有广阔的应用前景。 一、MEMS传感器的主要分类 1、传感 传感
2019-03-20 08:41
传感MEMS技术是指用微电子微机械加工出来的、用敏感元件如电容、压电、压阻、热电耦、谐振、隧道电流等来感受转换电信号的器件和系统。
2023-04-25 10:16
利用材料特性进行有利组合，硅、铝和钛的氮化物（nitrides）以及碳化硅（siliconcarbide）和其他陶瓷越来越多地应用于MEMS制造中。
2023-01-15 10:02
微机电系统（MEMS）技术使用半导体制造工艺来生产尺寸范围从小于一微米到几毫米的小型化机械和机电元件。MEMS设备可以从没有运动元件的相对简单的结构到具有多个运动元件的复杂的机电系统。
2020-07-22 18:06
随着可穿戴智能设备的发展，特别是医疗可穿戴智能设备，主要依靠MEMS传感器，从而检测到穿戴者的身体各项信息。那么什么是MEMS传感器呢？
2014-01-14 11:41
