工艺，确立了硅表面MEMS加工工艺体系。表面硅MEMS加工技术的关键
2018-11-05 15:42
和控制电路、直至接口、通信和电源等集成于一块或多块芯片上的微型器件或系统。而MEMS传感器就是采用微电子和微机械加工技术制造出来的新型传感器。MEMS是用传统的半导体
2016-12-09 17:46
本文重点描述运用MEMS微机械加工工艺技术设计、加工、生产胎压传感器IC芯片，希望对大家学习MEMS有所帮助
2012-12-11 14:17
微机械加工工艺分为硅基加工和非硅基加工。下面主要介绍体加工
2013-01-30 13:53
硅基MEMS加工技术主要包括体硅MEMS加工技术和表面MEMS
2018-04-12 08:40
MEMS陀螺仪对微机械加工工艺具有高度的敏感性，加工工艺偏差、加工应力以
2018-07-17 08:28
石英MEMS传感器主要应用于振动惯性器件，是通过振动原理测量运动物体的各种运动参数（包括角速度、角度、线加速度等）的惯性器件。石英
2020-06-24 15:00
腐蚀是硅微机械加工的最主要的技术 ，各种硅 微机械几乎都要用腐蚀成型。腐蚀法分湿法腐蚀和 干法腐蚀两大类 ，湿法腐蚀又分为溶液法及阳极法 ， 干法腐蚀分为离子刻蚀、激光加工等。
2020-03-08 11:35
。MEMS主要包括微型机构、微型传感器、微型执行器和相应的处理电路等几部分，它是在融合多种微细加工技术，并应用现代信息技术的最新成果的基础上发展起来的高科技前沿学科。一文读懂M
2018-09-07 15:24
数控加工工艺是一种利用数控机床进行零件加工的技术，它在现代制造业中具有重要地位。本文将详细介绍数控加工工艺的内容、特点以
2024-06-07 10:22
