2015-03-20 15:16
文章中设计的新型传感器在工艺上采用多晶硅掩埋电阻，刻蚀成“S”形正对聚酰亚胺高分子感湿介质下方，在高湿情况下有反馈信号开启加热电阻和选择高湿下的DSP，单片机也同样对高湿是的数据另行运算输出，这样可以克服采用加热电阻结构时整体感湿电容偏小，对后续电路精度和抗干扰要求较高。但放弃加热电阻，完全依赖感湿介质的物理吸附，在高湿时，已被吸附的水分子通过氢键作用与水分子键合，不但使吸湿量增大从而偏离原来的线性曲线，
2021-03-17 10:12
SI50X-FPB1-CUST，用于Si502单频，单线可编程CMEMS（CMOS + MEMS）振荡器的CMEMS振荡器评估板。现场编程器板（FPB）可以在配备USB的PC上运行
2019-09-11 08:13
`什么是MEMS传感器？MEMS的全称是微型电子机械系统（Micro-ElectroMechanical System），微机电系统是指可批量制作的，将微型机构、微型传感器、微型执行器以及信号处理
2016-12-09 17:46
`MEMS全称Micro Electromechanical System（微机电系统），是一种通常在硅晶圆上以IC工艺制备的微机电系统，微机械结构的制备工艺包括光刻、离子束刻蚀、化学腐蚀、晶片键合
2020-05-12 17:27
MEMS技术
2012-08-14 23:03
MEMS: Mainstream Process Integration The picture below shows a prototype example
2009-12-22 16:34
半导体 (CMOS) 存储器单元的顶部。连同一个光源，一个DMD电输入-光输出器件，使得开发人员能够执行高速、高效和可靠空间光调制，来生成一个投射图像。MEMS技术所取得的进步基于MEMS的DMD的不断创新正在为开发
2022-11-18 06:41
MEMS传感器，也就是我们常说的智能传感器，是应用最广泛的MEMS器件。它一般是把信号处理电路和敏感单元集成制作在一个芯片上，这样能够感知被测参数，并且还能对所得到的信号进行分析、处理和识别、判断
2013-10-11 16:21
历经十多年前的发展，MEMS（微机电系统, Micro-Electro-Mechanical System）逐渐衍变成消费类市场的重要推手，可谓是在手持式产品里风生水起，尤其在手机应用上更是如鱼得水。
2019-08-02 06:53
