MEMS传感器，也就是我们常说的智能传感器，是应用最广泛的MEMS器件。它一般是把信号处理电路和敏感单元集成制作在一个芯片
2013-10-11 16:21
集成制作在一块单一芯片上，使得ASIC电路很容易和MEMS技术制作的压力敏感芯片封装在一个小巧的壳体中。在宽温度范围内实测校准后的
2011-09-20 15:53
传感器应用其中。如MEMS压力传感器主要应用在测量气囊压力、燃油压力、发动机机油
2022-10-18 18:28
、方向定位、以及温度/压力/湿度传感器等广泛的应用；在汽车上，MEMS传感器借助气囊碰撞传感器、胎压监测系统（TPMS）
2016-12-07 15:42
此种传感器用来测量绝对压力
2012-04-13 12:31
和控制电路、直至接口、通信和电源等集成于一块或多块芯片上的微型器件或系统。而MEMS传感器就是采用微电子和微机械加工技术制造出来的新型传感器。
2016-12-09 17:46
MEMS传感器及其应用
2012-08-14 22:45
器、湿度传感器、氧气传感器、压力传感器、流量传感器等。MEMS传感器在航
2016-12-07 15:45
字MEMS传感器，采用先进的压力传感器技术和CMOS混合信号处理技术。 图1：SM3041在工业废气设备中机会 在工业废气监测设备中，SM3041可以参与废气取样工作。当设备安装在工业废气
2020-07-07 09:53
MEMS压力传感器在多种应用领域得到大量使用MEMS压力传感器是一种薄膜元件，受到压力时变形。可以利用应变仪（压阻型感测
2016-12-14 17:25
