目前的MEMS压力传感器有硅压阻式压力传感器和硅电容式压力传感器，两者都是在硅片上生成的微机电传感器。
2016-10-27 11:50
目前的MEMS压力传感器有硅压阻式压力传感器和硅电容式压力传感器，两者都是在硅片上生成的微机械电子传感器。研发人员制作出
2013-01-28 16:27
我在上一篇关于MEMS压力传感器的博客中，谈到了从手表到复杂机械等众多设备中的HMI传感器如何改变了我们获取信息以及与技术交互的方式。过去，许多设备上只有机械按钮或按键，而现在则利用触摸屏及其它
2024-02-21 09:39
MEMS（微机电系统）压力传感器以其体积小、功耗低、集成度高、性能优异等特点，在汽车、生物医学、航空航天等领域得到了广泛应用。然而，MEMS压力传感器的性能不仅取决于其
2025-01-06 10:49 北京中科同志科技股份有限公司 企业号
MEMS压力传感器（Micro Electromechanical System，即微电子机械系统）是指集微型传感器、执行器以及信号处理和控制电路、接口电路、通信和电源
2020-01-28 16:03
MEMS压力传感器广泛应用于汽车电子如TPMS、发动机机油压力传感器、汽车刹车系统空气压力传感器、汽车发动机进气歧管压力传感器
2018-04-10 10:54
随着MEMS传感器的设计和制造工艺的进步，MEMS压力传感器被广泛用于医疗、汽车和消费电子等应用领域。例如，压力传感器可
2019-07-23 15:10
MEMS，微机电系统，是1959年12月由理查德·费曼最早提出的概念，是将微观模拟机械元件机构、微型传感器、微型执行器以及信号处理和控制电路。
2020-07-21 10:45
通常定义传感器是一种换能器， 严格来说， 传感器是一种接收信号或受激励 并以电信号响应的能 量转换器件。传感器将其它类型的能转换成电能，正是因为传感器有如此类型的特点，
2018-05-14 11:42
对于释放应力杯并完成封装的MEMS器件来说，高温或高湿老化可能会影响硅膜的弹性形变，而长时间的压力负载也可能导致硅膜疲劳。这些损害会造成MEMS特性参数的漂移，严重的话会引发器件开路和短路，从而影响产品最终的可靠性。
2018-04-29 16:48
