目前的MEMS压力传感器有硅压阻式压力传感器和硅电容式压力传感器，两者都是在硅片上生成的微机电传感器。
2016-10-27 11:50
目前的MEMS压力传感器有硅压阻式压力传感器和硅电容式压力传感器，两者都是在硅片上生成的微机械电子传感器。研发人员制作出
2013-01-28 16:27
在上一篇文章《MEMS压力传感器该如何选型?智芯传感告诉您(一)》中，我们重点介绍了压力传感器选型需要考虑的三个方面的因素，即压
2022-08-26 09:02
MEMS(微机电系统)是指集微型传感器、执行器以及信号处理和控制电路、接口电路、通信和电源于一体的微型机电系统。 MEMS
2010-07-03 08:38
压力传感器,压力传感器是什么意思 压力传感器的定义 压力传感器，是指以膜片装置（不锈钢膜片、硅酮膜片等）为媒
2010-03-03 15:35
MEMS，微机电系统，是1959年12月由理查德·费曼最早提出的概念，是将微观模拟机械元件机构、微型传感器、微型执行器以及信号处理和控制电路。
2020-07-21 10:45
微机电系统（MEMS）压力传感器是一种基于微纳技术的传感器，可广泛应用于各个领域。本文将探讨MEMS压力传感器的主要应用
2023-06-18 11:37
MEMS压力传感器是利用压阻效应原理，采用集成工艺技术经过掺杂、扩散，沿单晶硅片上的特定晶向，制成应变电阻，构成惠斯通电桥，利用硅材料的弹性力学特性，在同一硅材料上进行各向异性微加工，制成了一个集力
2018-03-30 16:03
