、汽车胎压压力等。其中机油压力传感器是用于测量汽车发动机油压力的重要传感器，其可靠性直接关系到汽车和人的安全性。本文选用MEMS
2019-07-16 08:00
的基础上，在压力传感器的设计中借鉴系统级封装的基本思想，将扩散硅压力敏感芯片及其相应的驱动放大电路等附属电路系统集成在一块特殊设计的印刷电路板上，再运用专门设计的MEMS
2018-12-04 15:10
材料和MEMS工艺制造的新型压力传感器，具有精度高、灵敏度高、动态特性好、体积小、耐腐蚀、成本低等优点。纯单晶硅的材料疲劳小，采用这种材料制造的微压力传感器的长期稳定性
2018-11-07 11:01
据有关数据显示，2014-2017年，我国MEMS压力传感器市场规模呈稳步上升的趋势，其年复合增长率为11.46%。2017年我国MEMS压力传感器市场规模为32.4亿
2018-12-17 11:30
的研发顺利进行。而其缺点是MLX90819是裸片IC，需要工程师具有封装工艺的能力，由MLX90819设计出来的充油芯体压力传感器精度取决于封装工艺产品线。MLX90819芯片框图如图2所示
2020-07-08 15:11
MEMS压力传感器在多种应用领域得到大量使用MEMS压力传感器是一种薄膜元件，受到压力时变形。可以利用应变仪（压阻型感测
2016-12-14 17:25
传感器应用其中。如MEMS压力传感器主要应用在测量气囊压力、燃油压力、发动机机油
2022-10-18 18:28
，应用领域也在迅速扩大。由于压力传感技术所涉及的技术广泛，几乎渗透到各个专业领域，因此，对压力传感器新理论的探讨、新技术与新方法的应用、新材料和新工艺的研究将成为发展趋
2020-02-21 15:31
下工作产生较大误差而设计的，其设计方案是把传感器件与放大电路分离，通过模型识别来得到所测环境的压力。高温工作区温度可达350℃。传感器件由铂电阻和电容式压力传感器构成。
2018-11-12 16:23
第七章硅压力传感器的微机械加工第一节概况第二节湿化学腐蚀第三节各向异性腐蚀过程计算机模拟第四节压力传感器的压力腔腐蚀工艺第五节表面微机械加工——牺牲层技术第六节玻璃穿孔
2010-04-16 15:13
