层，该多晶硅层被图案化为可移动的机械结构，并通过牺牲性蚀刻下面的氧化物层来释放。叉指式梳状电极用于产生平面内力并以电容方式检测平面内运动。这种MEMS范例使制造低成本的加速度计成为可能适用于例如汽车
2021-01-05 10:33
哪位大佬可以详细介绍下MEMS技术到底是什么
2020-11-25 07:23
MEMS麦克风制造的推荐焊接参数（即焊膏厚度）是多少？以上来自于谷歌翻译以下为原文 What are the recommended soldering parameters (i.e.
2018-09-27 16:16
MEMS器件目前主要应用于汽车和消费电子，未来在医疗、工业、航空航天市场也将逐渐普及。那么MEMS是什么？有什么特点？MEMS设计与制造面临哪些困难？本文将会一一解答。
2018-11-07 11:00
电子设备和通信系统设备的振荡器选择是影响系统性能的主要因素。目前振荡器有两种：石英晶体振荡器是由石英晶体的基本结构构成，和一个简单的振荡器电路。全硅MEMS谐振器，锁向电路，温度补偿，以及制造校准
2020-05-30 13:25
制造设施的建设。现在，ADI公司已能够满足业界一直以来的需求：量产、可靠、高性能、小尺寸的MEMS开关取代衰老的继电器技术。ADI公司与MEMS技术有着深厚的历史渊源。世界上第一款成功开发、
2018-10-17 10:52
和控制电路、直至接口、通信和电源等集成于一块或多块芯片上的微型器件或系统。而MEMS传感器就是采用微电子和微机械加工技术制造出来的新型传感器。MEMS是用传统的半导体工艺和材料，以半导体
2016-12-09 17:46
的应用，为新型麦克风技术的发展创造了机会。新技术应当能改善上述缺点，让制造商生产出更高质量、更加可靠的设备。微机电系统(MEMS)技术是电容麦克风变革的中坚力量。MEMS麦克风利用了过去数十年来硅技术
2019-11-05 08:00
作为一项基于固态电子器件和内置半导体制造设施技术，MEMS向状态监控产品设计师提供了几个极具吸引力且有价值的优势。撇开性能因素，我们就来说说状态监控领域的任何人都应对MEMS加速度计感兴趣的主要原因
2018-10-12 11:01
的定位定义了麦克风是指定为顶部端口，如果孔位于顶部覆盖中，还是底部端口（如果位于PCB中）。MEMS部件通常具有机械隔膜和制造在半导体管芯上的安装结构。图1：典型的顶部端口MEMS麦克风结构。（图片来源
2019-02-23 14:05
