层，该多晶硅层被图案化为可移动的机械结构，并通过牺牲性蚀刻下面的氧化物层来释放。叉指式梳状电极用于产生平面内力并以电容方式检测平面内运动。这种MEMS范例使制造低成本的加速度计成为可能适用于例如汽车
2021-01-05 10:33
哪位大佬可以详细介绍下MEMS技术到底是什么
2020-11-25 07:23
MEMS传感器是当今最炙手可热的传感器制造技术，也是传感器小型化、智能化的重要推动了，MEMS技术促进了传感器的极大发展。 MEMS主要采用微电子技术，在微纳米的体积下
2023-11-02 08:37
和封装成本。本文讨论不同的半导体 MEMS 制造方法及其进展。 半导体 MEMS 的重要性 MEMS 主要是传感器系统，可以控制或感测化学、光学或物理量，例如流体、加速
2023-11-24 09:19
MEMS工艺——半导体制造技术说明。
2021-04-08 09:30
MEMS产业增长潜力巨大，而MEMS制造是产业持续发展的瓶颈还是将潜力兑现成现实的关键路径?据麦姆斯咨询报道，漫长的开发周期、繁多的制造平台、研发期间的用量少带来的高报
2018-05-21 23:27
MEMS器件和集成电路（IC）芯片是通过类似的过程制造的。两者都始于基础衬底晶圆（通常是硅或玻璃），然后通过后续步骤进行构建和雕刻。
2020-08-11 16:24
MEMS麦克风制造的推荐焊接参数（即焊膏厚度）是多少？以上来自于谷歌翻译以下为原文 What are the recommended soldering parameters (i.e.
2018-09-27 16:16
MEMS是一种制造技术，诸如杠杆、齿轮、活塞、发动机甚至蒸汽机都是由MEMS制造的。相比于芯片制造业越来越被普通人熟知，
2021-02-20 11:05
进行MEMS制造的最基本需求是能够沉积1到100微米之间的材料薄膜。NEMS的制造过程是基本一致的，膜沉积的测量范围从几纳米到一微米。
2022-10-11 09:12
