电子发烧友

MEMS传感器，也就是我们常说的智能传感器，是应用最广泛的MEMS器件。它一般是把信号处理电路和敏感单元集成制作在一个芯片上，这样能够感知被测参数，并且还能对所得到的

2013-10-11 16:21

关于MEMS传感器的基础知识，你了解多少？本文将从MEMS传感器的概念、制造及工艺、

2018-11-12 10:51

和控制电路、直至接口、通信和电源等集成于一块或多块芯片上的微型器件或系统。而MEMS传感器就是采用微电子和微机械加工技术制造出来的新型传感器。

2016-12-09 17:46

的技术组件：　　· 单晶硅传感器　　· 高性能ASIC　　· 两个芯片外壳　　　　图3 产品参数表　　传感器的核心：单晶硅传感器　　硅传感器（每个

2020-07-07 09:36

MEMS传感器典型应用如下图：随着电子技术的发展，MEMS的应用领域越来越广泛，由最早的工业、军用航空应用走向普通的民用和消费市场。在智能手机上，MEMS

2016-12-07 15:42

的制造生产过程中应用十分普遍。压力测量的特点是;被测压力种类多、涉及范围广，测压点多，要求测量精度高。航天航空集当代先进制造技术、信息技术和材料技术于一身，对传感器的要求越来越高，

2016-12-07 15:45

进行设计，由此确定器件的结构、使用的材料、应用的工作原理和感应技术等。MEMS设计人员可以根据模拟和建模工具选择制造传感器的最佳工艺和材料，并预测MEMS磁

2018-11-09 10:38

MEMS(Micro-Electro-MechanicalSystems)是微机电系统的缩写，MEMS技术建立在微米/纳米基础上，是对微米/纳米材料进行设计、加工、制造、测量和控制的技术，完整的

2019-09-29 09:34

Mark Looney对于采用MEMS加速度计和陀螺仪的工业系统而言，优化带宽可能是关键考虑因素。这代表着精度(噪声)与响应时间之间的一种经典权衡。虽然多数MEMS传感器制造

2018-10-24 10:42