MEMS传感器，也就是我们常说的智能传感器，是应用最广泛的MEMS器件。它一般是把信号处理电路和敏感单元集成制作在一个芯片上，这样能够感知被测参数，并且还能对所得到的
2013-10-11 16:21
的微型器件研究，还有很多创新工作要做，不然就会面临发展停滞的风险。技术优势：用MEMS工艺制造传感器、执行器或者微结构， 具有微型化、集成化、智能化、成本低、效能高、可
2018-11-12 10:51
容量变化并传输其测量值。在传感器的生产过程中，质量和弹簧（记住，这些结构通常只有千分之一毫米厚）被蚀刻在硅上，其可以大量生产MEMS，同时也消耗更少的能量。 图2 产品实物图
2020-07-07 09:36
MEMS传感器典型应用如下图：随着电子技术的发展，MEMS的应用领域越来越广泛，由最早的工业、军用航空应用走向普通的民用和消费市场。在智能手机上，MEMS
2016-12-07 15:42
`什么是MEMS传感器？MEMS的全称是微型电子机械系统（Micro-ElectroMechanical System），微机电系统是指可批量制作的，将微型机构、微型传感器
2016-12-09 17:46
目录背景无线传感器网络的组成和结构常见传感器的分类无线传感器的组成无线传感器网络的组成无线
2021-09-15 07:48
进行设计，由此确定器件的结构、使用的材料、应用的工作原理和感应技术等。MEMS设计人员可以根据模拟和建模工具选择制造传感器的最佳工艺和材料，并预测MEMS磁
2018-11-09 10:38
MEMS传感器及其应用
2012-08-14 22:45
。多数MEMS传感器有一个自测功能，可以在部署于关键任务应用之前对传感器进行测试。该功能利用传感器的机械结构来模拟其需要
2018-10-24 10:42
单元;飞机导航系统;飞行控制系统;包括颤振测试在内的飞行期间结构测试;健康系统测试;稳定性测试;地面振动测试（风洞试验）;模态测试;发动机控制系统、制导系统等。MEMS化学传感器这种类似于电子鼻的高温
2016-12-07 15:45
