MEMS传感器，也就是我们常说的智能传感器，是应用最广泛的MEMS器件。它一般是把信号处理电路和敏感单元集成制作在一个芯片上，这样能够感知被测参数，并且还能对所得到的
2013-10-11 16:21
MEMS传感器是一种微型电子机械系统（Micro-Electro-Mechanical Systems）传感器，它将传感器和微机电系统集成在一起，利用微纳技术实现微型化
2024-10-18 15:33
、 技术附加值高 , 适于批量化生产 、 易于集成和实现智能化等特点。 MEMS 传感器和IC芯片最大的区别在于：MEMS 是可动结构，利用微纳加工技术同时加工出机械
2020-12-28 15:42
`什么是MEMS传感器？MEMS的全称是微型电子机械系统（Micro-ElectroMechanical System），微机电系统是指可批量制作的，将微型机构、微型传感器
2016-12-09 17:46
MEMS传感器典型应用如下图：随着电子技术的发展，MEMS的应用领域越来越广泛，由最早的工业、军用航空应用走向普通的民用和消费市场。在智能手机上，MEMS
2016-12-07 15:42
MEMS传感器及其应用
2012-08-14 22:45
的微型器件研究，还有很多创新工作要做，不然就会面临发展停滞的风险。技术优势：用MEMS工艺制造传感器、执行器或者微结构， 具有微型化、集成化、智能化、成本低、效能高、可
2018-11-12 10:51
容量变化并传输其测量值。在传感器的生产过程中，质量和弹簧（记住，这些结构通常只有千分之一毫米厚）被蚀刻在硅上，其可以大量生产MEMS，同时也消耗更少的能量。 图2 产品实物图
2020-07-07 09:36
由于MEMS传感器测量的外部信号不同，不同类型的MEMS传感器技术差异较大。MEMS惯性
2023-06-13 09:08
。多数MEMS传感器有一个自测功能，可以在部署于关键任务应用之前对传感器进行测试。该功能利用传感器的机械结构来模拟其需要
2018-10-24 10:42
