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  • MEMS传感器的分类

    MEMS传感器,也就是我们常说的智能传感器,是应用最广泛的MEMS器件。它一般是把信号处理电路和敏感单元集成制作在一个芯片上,这样能够感知被测参数,并且还能对所得到的

    2013-10-11 16:21

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    2019-07-25 06:45

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  • MEMS传感器四大应用领域详解

    的刹车传感器,侧面气囊,与日益严格的排放标准相关的引擎控制,大气压力与废气再循环压力。这种传感器用单晶硅作材料,以采用MEMS技术在材料中间制作成力敏膜片,然后在膜片上扩散杂质形成四只应变电阻,再以惠斯顿

    2018-11-07 10:56

  • 基于单晶硅传感器MEMS惯性传感器工作方式

    。例如,将来,惯性传感器将被进行智能编程,并将具有微控制器,微型电池或微型无线电芯片以在线发送其测量数据。  微型格式,微型生产成本,微型运营成本:电容式惯性传感器的技术概念  MEMS惯性

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    构成。使用此结构可实现将压力、温度、加速度这些物理量转换成电气信号的传感器,还可实现提供电气信号使可动结构体像机械一样运动的所谓执行器功能。MEMS产品早在1980年就已经存在了,与使用了CMOS工艺

    2019-07-04 06:06