在微电子技术高速发展的浪潮中，MEMS传感器的应用也广泛起来。例如气体成分检测、3D定位技术、特殊环境的参数监测等应用。
2020-06-09 15:22
、感应电路和信号处理电路组成，能够用于测量和检测各种物理量，如压力、温度、加速度、角速度、湿度等。 一、MEMS传感器的定义与特点 MEMS
2024-10-18 15:33
MEMS传感器，也就是我们常说的智能传感器，是应用最广泛的MEMS器件。它一般是把信号处理电路和敏感单元集成制作在一个芯片上，这样能够感知被测参数，并且还能对所得到的
2013-10-11 16:21
电流型、谐振式和热电偶式等形式。其中，电容式MEMS加速度计具有灵敏度高、受温度影响极小等特点，是MEMS微加速度计中的主流产品。微陀螺仪微陀螺仪是一种角速率传感器，主
2016-12-07 15:42
、 技术附加值高 , 适于批量化生产 、 易于集成和实现智能化等特点。 MEMS 传感器和IC芯片最大的区别在于：MEMS 是可动结构，利用微纳加工技术同时加工出机械
2020-12-28 15:42
智能化的特点， 经过四十多年的发展，已成为世界瞩目的重大科技领域之一。它涉及电子、机械、材料、物理学、化学、生物学、医学等多种学科与技术，具有广阔的应用前景。在众多汽车传感器中，有越来越多的MEMS
2022-10-18 18:28
MEMS传感器及其应用
2012-08-14 22:45
低成本的INS/ GPS 组合导航系统 ,是一类非常适合构建微型捷联惯性导航系统的惯性传感器。MEMS惯性传感器的突出特点使其在众多的民用和军用领域具有广阔的应用前景。
2020-05-18 06:28
新型传感器的特点是什么？什么是MEMS传感器？什么是CMOS图像传感器？
2021-06-28 09:37
由于MEMS传感器测量的外部信号不同，不同类型的MEMS传感器技术差异较大。MEMS惯性
2023-06-13 09:08
