。 除了上面介绍的几种典型MEMS传感器外，还有许许多多的MEMS传感器，如用于微观判断的MEM5触觉传感器、
2013-10-11 16:21
MEMS传感器应用在航空航天领域，要求适应在不同的空间环境，包括：真空、电磁辐射、高能粒子辐射、等离子体、微流星体、行星大气、磁场和引力场等，以及航天器某些系统工作时或
2016-12-07 15:45
。多数MEMS传感器有一个自测功能，可以在部署于关键任务应用之前对传感器进行测试。该功能利用传感器的机械结构来模拟其需要
2018-10-24 10:42
MS-2163：利用集成式MEMS惯性传感器改 善工业控制
2019-09-03 14:31
40只MEMS传感器，车越好，所用的MEMS就越多，BMW740i汽车上就有70多只MEMS。MEMS
2018-11-07 10:56
，大约采用25至40只MEMS传感器，车越好，所用的MEMS就越多，BMW740i汽车上就有70多只MEMS。MEMS
2016-12-07 15:42
MEMS（Micro-Electro-Mechanical System）是指集机械元素、微型传感器以及信号处理和控制电路、接口电路、通信和电源于一体的完整微型机电系统。MEMS惯性
2020-05-18 06:28
的，例如磁力计、指纹传感器、环境传感器、MEMS手机摄像头等。而MEMS传感器
2016-12-07 15:43
MEMS传感器及其应用
2012-08-14 22:45
的主要传感模式用于在关键操作模式中提供高性能，同时互补传感器则扫除每个应用阶段的关键障碍，如表2所示。表2. 候选传感器的优势和不足 由于MEMS无需外部基础设施，并能
2018-10-30 14:52
