MEMS传感器，也就是我们常说的智能传感器，是应用最广泛的MEMS器件。它一般是把信号处理电路和敏感单元集成制作在一个芯片上，这样能够感知被测参数，并且还能对所得到的
2013-10-11 16:21
、方向定位、以及温度/压力/湿度传感器等广泛的应用；在汽车上，MEMS传感器借助气囊碰撞传感器、胎压监测系统（TPMS）和车辆稳定性
2016-12-07 15:42
导航系统和防盗系统等。其中，电容式MEMS加速度计具有灵敏度高、受温度影响极小等特点，是MEMS微加速度计 中的主流产品。微陀螺仪是一种角速率传感器，主要用于汽车导航的GPS信号补偿和汽车底盘
2022-10-18 18:28
环境传感器可细分为气体、温度和湿度传感器等。MEMS温度传感器可用于任何需要检测温度的地方。MEMS湿度
2023-07-26 14:22
MEMS传感器是一种微型电子机械系统（Micro-Electro-Mechanical Systems）传感器，它将传感器和微机电系统集成在一起，利用微纳技术实现微型化
2024-10-18 15:33
MEMS传感器及其应用
2012-08-14 22:45
和控制电路、直至接口、通信和电源等集成于一块或多块芯片上的微型器件或系统。而MEMS传感器就是采用微电子和微机械加工技术制造出来的新型传感器。
2016-12-09 17:46
关于MEMS传感器的基础知识，你了解多少？本文将从MEMS传感器的概念、制造及工艺、MEMS
2018-11-12 10:51
微机械式惯性传感器已经成为许多消费产品的一个组成部分，比如手持式移动终端、照相机和游戏控制器等。此外，微机械式惯性传感器还被广泛用于工业、汽车安全和稳定
2018-11-06 16:07
MS-2163：利用集成式MEMS惯性传感器改 善工业控制
2019-09-03 14:31
