和控制电路、直至接口、通信和电源等集成于一块或多块芯片上的微型器件或系统。而MEMS传感器就是采用微电子和微机械加工技术制造出来的新型传感器。
2016-12-09 17:46
MEMS传感器，也就是我们常说的智能传感器，是应用最广泛的MEMS器件。它一般是把信号处理电路和敏感单元集成制作在一个芯片上，这样能够感知被测参数，并且还能对所得到的
2013-10-11 16:21
片技术，将性能稳定的薄膜片电阻加工到一片薄膜上。由于采用了MEMS加工，因此一方面缩短了传感器响应时间，另一方面由于采用了前后桥电路，可以判断出流体流向，从而进一步测量
2016-12-07 15:42
MEMS传感器及其应用
2012-08-14 22:45
单元;飞机导航系统;飞行控制系统;包括颤振测试在内的飞行期间结构测试;健康系统测试;稳定性测试;地面振动测试（风洞试验）
2016-12-07 15:45
MEMS传感器即微机电系统 （Microelectro Mechanical Systems）， 与传统的传感器相比，它具有体积小、重量轻、成本低、功耗低、可靠性高、适于批量化生产、易于集成和实现
2022-10-18 18:28
MS-2163：利用集成式MEMS惯性传感器改 善工业控制
2019-09-03 14:31
`MEMS传感器技术的突破也为医疗应用带来前所未有的便利性和体验。随着人口的老龄化，人们的医疗保健问题变的空前重要。人们的医疗保健问题变的空前重要。体外诊断、药物研究、病患监测、给药方式以及植入式
2016-12-07 15:46
消费类电子MEMS传感器的应用随着消费电子领域大发展及产品创新不断涌现，特别是受益于智能手机和平板电板的快速发展，消费电子已经取代汽车领域成为MEMS最大的应用市场。其中手机和平板电脑中的
2016-12-07 15:43
、仪器、手持式测试设备、家庭自动化以及个人医疗保健等新应用领域。而新应用市场的产品价格通常比较高，这将有助于抑制MEMS传感器的价格下跌，进而推动MEMS
2014-08-08 11:08
