和控制电路、直至接口、通信和电源等集成于一块或多块芯片上的微型器件或系统。而MEMS传感器就是采用微电子和微机械加工技术制造出来的新型传感器。
2016-12-09 17:46
。多数MEMS传感器有一个自测功能，可以在部署于关键任务应用之前对传感器进行测试。该功能利用传感器的机械结构来模拟其需要
2018-10-24 10:42
MEMS 传感器介绍 1. MEMS 传感器的类别： MEMS 传感器
2020-12-28 15:42
的微型器件或系统。而MEMS传感器就是采用微电子和微机械加工技术制造出来的新型传感器。MEMS是用传统的半导体工艺和材料
2018-11-12 10:51
MEMS传感器，也就是我们常说的智能传感器，是应用最广泛的MEMS器件。它一般是把信号处理电路和敏感单元集成制作在一个芯片上，这样能够感知被测参数，并且还能对所得到的
2013-10-11 16:21
片技术，将性能稳定的薄膜片电阻加工到一片薄膜上。由于采用了MEMS加工，因此一方面缩短了传感器响应时间，另一方面由于采用了前后桥电路，可以判断出流体流向，从而进一步测量
2016-12-07 15:42
Ultra-planar Multi-level MEMS Technology (SUMMiTV) 。这些设计工具具有创建传感器版图和检查设计规则的模块，并且可以模拟微加工过程的步骤，有利于减少获得高性能
2018-11-09 10:38
MEMS（Micro-Electro-Mechanical System）是指集机械元素、微型传感器以及信号处理和控制电路、接口电路、通信和电源于一体的完整微型机电系统。MEMS惯性
2020-05-18 06:28
MEMS传感器是一种微型电子机械系统（Micro-Electro-Mechanical Systems）传感器，它将传感器和微机电系统集成在一起，利用微纳技术实现微型化
2024-10-18 15:33
