样板试制。当研发一种新的MEMS传感器制造工艺时，最初的几片晶圆通常不会量产可工作的器件。根据工艺的复杂性和创新性，将需
2023-06-15 08:39
随着MEMS传感器的设计和制造工艺的进步，MEMS压力传感器被广泛用于医
2019-07-23 15:10
工艺深刻地影响了现今传感器产业的发展。可以说，MEMS的工艺技术都是从集成电路（IC）行业借鉴而来的，特别在MEMS刚兴
2023-10-20 16:10
MEMS传感器是当今最炙手可热的传感器制造技术，也是传感器小型化、智能化的重要推动了，
2023-11-05 10:13
。 作为现代传感器重要的制造技术，MEMS工艺深刻地影响了现今传感器产业的发展。可以说，
2024-07-21 16:50
传感器在近现代主要的制造工艺有四种，分别是集成传感器、薄膜传感器、厚膜传感器
2020-07-13 15:12
量子霍尔传感器制造工艺，已经电气特性
2021-11-22 17:55
关于MEMS传感器的基础知识，你了解多少？本文将从MEMS传感器的概念、制造及工
2016-12-06 10:47
苏州敏芯微电子成功研发面向 MEMS 微硅传感器制程的 SENSA 工艺。敏芯目前已经将此工艺应用于公司生产的微硅压力传感
2011-04-28 09:05
具有代表性的基于金属氧化物半导体敏感材料(MOS)气体传感器已广泛应用于安全、环境、楼宇控制等领域的气体检测，该类传感器的能耗是制约其大规模布设的核心节点，MEMS技术为解决MOS气体
2020-12-26 00:18
