随着MEMS传感器的设计和制造工艺的进步,MEMS压力传感器被广泛用于医
2019-07-23 15:10
MEMS传感器是当今最炙手可热的传感器制造技术,也是传感器小型化、智能化的重要推动了,
2023-11-05 10:13
传感器在近现代主要的制造工艺有四种,分别是集成传感器、薄膜传感器、厚膜传感器
2020-07-13 15:12
关于MEMS传感器的基础知识,你了解多少?本文将从MEMS传感器的概念、制造及工
2016-12-06 10:47
用MEMS工艺制造的传感器具有微型化、集成化、成本低、效能高、可大批量生产等特点。同时,MEMS
2019-12-25 10:21
根据图像传感器的应用和制造工艺,图像传感器可分为CCD图像传感器和CMOS图像传
2024-01-24 09:30
MEMS传感器是一种微型电子机械系统(Micro-Electro-Mechanical Systems)传感器,它将传感器和微机电系统集成在一起,利用微纳技术实现微型化
2024-10-18 15:33
MEMS技术基于已经是相当成熟的微电子技术、集成电路技术及其加工工艺。它与传统的IC工艺有许多相似之处,如光刻、薄膜沉积、掺杂、刻蚀、化学机械抛光工艺等,但是有些复杂的
2019-12-25 10:03
MEMS让传感器小型化、智能化,MEMS传感器将在智慧工业时代大有可为。MEMS温度、湿度
2018-04-12 11:25
MEMS生物传感器目前处于发展初期。MEMS生物传感器是利用生物分子探测生物反应信息的器件。
2019-07-25 14:19