和控制电路、直至接口、通信和电源等集成于一块或多块芯片上的微型器件或系统。而MEMS传感器就是采用微电子和微机械加工技术制造出来的新型传感器。
2016-12-09 17:46
，；应用最多的属于振动陀螺仪，通常，它与低加速度计一起构成主动控制系统。MEMS传感器的广泛应用，强烈需要研究出高精密汽车传感器焊接工艺。 汽车
2022-10-18 18:28
关于MEMS传感器的基础知识，你了解多少？本文将从MEMS传感器的概念、制造及工
2018-11-12 10:51
进行设计，由此确定器件的结构、使用的材料、应用的工作原理和感应技术等。MEMS设计人员可以根据模拟和建模工具选择制造传感器的最佳工艺和材料，并预测
2018-11-09 10:38
的技术组件： · 单晶硅传感器 · 高性能ASIC · 两个芯片外壳 图3 产品参数表 传感器的核心：单晶硅传感器 硅传感器（每个
2020-07-07 09:36
。如Deal-Grove模型所述，这种制造MEMS的方法主要依赖于硅的氧化。热氧化工艺用于通过高精度尺寸控制生产各种硅结构。包括光频率梳[24]和硅MEMS压力
2021-01-05 10:33
MEMS传感器，也就是我们常说的智能传感器，是应用最广泛的MEMS器件。它一般是把信号处理电路和敏感单元集成制作在一个芯片上，这样能够感知被测参数，并且还能对所得到的
2013-10-11 16:21
的制造生产过程中应用十分普遍。压力测量的特点是;被测压力种类多、涉及范围广，测压点多，要求测量精度高。航天航空集当代先进制造技术、信息技术和材料技术于一身，对传感器的要求越来越高，
2016-12-07 15:45
件相适应,于是制约了整个系统的集成化、批量化和性能的充分发挥。微型传感器不是传统传感器简单的物理缩小的产物,而是以新的工作机制和物化效应,使用标准半导体工艺兼容的材料,通过ME
2019-07-24 07:13
`如图所示，这种传感器上面有水，电阻会变化。看上去好像就是很多线并排。这种传感器的原理是什么？制作工艺是什么？`
2017-07-06 18:07
