构成。使用此结构可实现将压力、温度、加速度这些物理量转换成电气信号的传感器，还可实现提供电气信号使可动结构体像机械一样运动的所谓执行器功能。MEMS产品早在1980年就已经存在了，与使用了CMOS工艺
2019-07-04 06:06
MEMS传感器，也就是我们常说的智能传感器，是应用最广泛的MEMS器件。它一般是把信号处理电路和敏感单元集成制作在一个
2013-10-11 16:21
进行设计，由此确定器件的结构、使用的材料、应用的工作原理和感应技术等。MEMS设计人员可以根据模拟和建模工具选择制造传感器的最佳工艺和材料，并预测MEMS磁传感器的性能
2018-11-09 10:38
稳定控制系统中的刹车传感器，侧面气囊，与日益严格的排放标准相关的引擎控制，大气压力与废气再循环压力。这种传感器用单晶硅作材料，以采用MEMS技术在材料中间制作成力敏膜片
2016-12-07 15:42
关于MEMS传感器的基础知识，你了解多少？本文将从MEMS传感器的概念、制造及工艺、MEMS
2018-11-12 10:51
`什么是MEMS传感器？MEMS的全称是微型电子机械系统（Micro-ElectroMechanical System），微机电系统是指可批量制作的，将微型机构、微型
2016-12-09 17:46
的刹车传感器，侧面气囊，与日益严格的排放标准相关的引擎控制，大气压力与废气再循环压力。这种传感器用单晶硅作材料，以采用MEMS技术在材料中间制作成力敏膜片，然后在膜片上
2018-11-07 10:56
消费类电子MEMS传感器的应用随着消费电子领域大发展及产品创新不断涌现，特别是受益于智能手机和平板电板的快速发展，消费电子已经取代汽车领域成为MEMS最大的应用市场。其中手机和平板电脑中的
2016-12-07 15:43
的制造生产过程中应用十分普遍。压力测量的特点是;被测压力种类多、涉及范围广，测压点多，要求测量精度高。航天航空集当代先进制造技术、信息技术和材料技术于一身，对传感器的要求越来越高，MEMS
2016-12-07 15:45
MEMS传感器及其应用
2012-08-14 22:45
