由上海福赛特智能设备有限公司独立研发的LED半导体晶圆倒片机将于年内在三安生产线投入量产运营。该设备用于LED外延工艺，可实现晶圆从原料仓至PVD工序间，以及PVD工序
2019-09-08 10:37
LED的波长、亮度、正向电压等主要光电参数基本上取决于外延片材料，因此，外延片材料作为LED工作原理中的核心部分，了解LED
2018-11-01 16:41
外延层是在晶圆的基础上，经过外延工艺生长出特定单晶薄膜，衬底晶圆和外延薄膜合称外延片。其中在导电型碳化硅衬底上生长碳化硅
2023-05-31 09:27
采用PowerFill外延硅工艺的电源器件 ASM International推出了其PowerFill的外延硅（Epi Si）沟槽填充工艺。新
2010-01-25 09:17
外延工艺是指在衬底上生长完全排列有序的单晶体层的工艺。一般来讲，外延工艺是在单晶衬底上生长一层与原衬底相同晶格取向的晶体
2023-02-13 14:35
外延工艺的介绍，单晶和多晶以及外延生长的方法介绍。
2023-11-30 18:18
启用PowerFill外延硅工艺的电源设备 ASM International推出了其PowerFill的外延硅（Epi Si）沟槽填充工艺。新
2010-01-23 08:35
本内容介绍了LED外延片基础知识，LED外延片--衬底材料，评价衬底材料必须综合考虑的因素
2012-01-06 15:29
氮化镓外延片生长工艺较为复杂，多采用两步生长法，需经过高温烘烤、缓冲层生长、重结晶、退火处理等流程。两步生长法通过控制温度，以防止氮化镓外延片因晶格失配或应力而产生翘曲，为目前全球氮化镓
2023-02-05 14:50
从保障外延片品质入手，提升Micro LED生产效率，降低生产成本外，应用更大尺寸的外延片也是Micro LED成本考量的关键。传统的
2023-05-10 09:50
