PECVD原理 PECVD作用：在硅片表面镀上一层深蓝色的氮化硅膜，可以充分吸收太阳光，降低反射，并且氮化硅膜有钝化的作用，保护电池
2010-07-18 11:29
本文介绍了PECVD中影响薄膜应力的因素。 影响PECVD 薄膜应力的因素有哪些？各有什么优缺点？ 以SiH4+NH3/N2生成SiNx薄膜，SiH4+NH3+NO2生成SiON薄膜为例，我这边归纳
2025-02-10 10:27
PmaxTM等离子体增强化学气相沉积（PECVD）设备，拓展了一个重要的全新产品分类。盛美上海预计将在几周内向中国的一家集成电路客户交付其首台PECVD设备。 盛美上海首席执行官王坚表示： “Ultra PmaxTM PE
2022-12-13 18:07
目前，LED芯片技术的发展关键在于基底材料和晶圆生长技术。基底材料除了传统的蓝宝石材料、硅(Si)、碳化硅(SiC)以外，氧化锌(ZnO)和氮化镓(GaN)等也是当前研
2012-10-16 17:20
沈阳拓荆科技有限公司承担的国家重大科技专项项目——90～65纳米等离子体增强化学气相沉积(PECVD)设备的研发与产业化研制日前获得成功
2011-11-08 09:15
是PECVD和物理气相沉积（PVD）设备的设计和制造；高端PECVD/PVD设备也是半导体芯片制造行业的“核芯”设备之一，是最先进半导体设备技术水平的体现。迅立光电及其
2018-05-29 18:26
本文提出了一种基于MEMS工艺的LED芯片封装技术，利用Tracepro软件仿真分析了反射腔的结构参数对LED光强的影响，通过分析指出。利用各向异性腐蚀硅形成的角度作为
2018-06-15 14:28
LED显示屏及其LED驱动芯片技术分析 LED显示屏是上世纪80年代后期在全球迅速发展起来的新型显示产品，以可靠性高、
2009-11-05 09:28
目前，LED芯片技术的发展关键在于基底材料和晶圆生长技术。LED芯片的发
2012-03-13 16:02
