AOE刻蚀氧化硅可以，同时这个设备可以刻蚀硅吗？大致的气体配比是怎样的，我这里常规的刻蚀气体都有，但是过去用的ICP，还没有用过AOE刻蚀硅，请哪位大佬指点一下，谢谢。
2022-10-21 07:20
最近需要用到干法刻蚀技术去刻蚀碳化硅，采用的是ICP系列设备，刻蚀气体使用的是SF6+O2，碳化硅上面没有做任何掩膜，就是为了去除SiC表面损伤层达到表面改性的效果。但是实际刻
2022-08-31 16:29
请问一下芯片制造究竟有多难？
2021-06-18 06:53
请大佬详细介绍一下关于基于Si衬底的功率型GaN基LED制造技术
2021-04-12 06:23
LED封装的具体制造流程分为哪几个步骤？LED在封装生产中如何做静电防护？
2021-05-11 06:00
方式。一些制造商，以降低产品的成本，的使用恒压调光LED，也带来了大批量生产的每个LED的发光亮度，LED可以不在最佳状态下工作等一系列问题。恒流源调光是最好的
2015-07-22 17:48
XX nm制造工艺是什么概念？为什么说7nm是物理极限？
2021-10-20 07:15
，提升规模经济的关键原因。 板上芯片 (COB) 光源模块是有助于降低成本的最新封装方法之一。在这种模块中，LED 芯片采用半导体芯片形式，既无外壳，也不用连接，只需直
2019-07-17 06:06
太阳能电池薄膜激光刻蚀机配了台特域冷水机，用的是什么制冷机？
2017-11-25 14:30
LED照明驱动芯片有哪几种类型？LED显示屏的专用驱动芯片存在哪些问题？
2021-06-08 06:34
