半导体设备光刻机防震基座在 LCD 面板制造曝光机中的成功应用案例-江苏泊苏系统集成有限公司一、案例背景在 LCD(Liquid Crystal Display)面板制造领域,曝光机
2024-12-24 14:43 江苏泊苏系统集成有限公司 企业号
,又称XXY、XYR 对位平台,属于三轴并联运动机构。UVW平台可以实现以平面上任意一点为中心,进行旋转运动的装置,并可沿着任意的方向平移。目前被广泛用于曝光机、
2021-07-15 14:43 Microvision维视智造 企业号