在芯片制程进入纳米时代后,一个看似矛盾的难题浮出水面:如何在不损伤脆弱纳米结构的前提下,彻底清除深孔、沟槽中的残留物?传统水基清洗和等离子清洗由于液体的表面张力会损坏高升宽比结构中,而超临界二氧化碳(sCO₂)
2025-06-03 10:46
本文介绍了晶圆清洗的污染源来源、清洗技术和优化。
2025-03-18 16:43
在本文中,将介绍超声波镜头清洗 (ULC) 技术以及该项技术如何帮助实现自清洗摄像头应用。
2023-07-08 15:27
什么是超声波镜头清洗技术?
2023-08-24 15:34
IC是Integrated Circuit的缩写,即集成电路。集成电路是一种将大量的电子元器件,如晶体管、电阻、电容等,以微型化和集成化的方式集成在一块半导体芯片上的电路。集成电路的发明是现代电子技术
2024-02-04 16:43
您可能听说过高音尖叫可以震碎玻璃,那么是否听说过尖叫可以清洗玻璃?借助精确受控的高频振动,超声波清洗技术便可以用于清洗玻璃表面。在雨天情况下,这项
2023-02-06 15:28